Générateurs d'ozone - Série H

  • Génération d'ozone pour l'industrie des semi-conducteurs.

Générateurs d'ozone - série H

Description

Ces générateurs produisent l'ozone à partir d'oxygène pur, sans aucun contact avec des surfaces métalliques, ce qui garantit un gaz sans traces de NOx (oxyde d'azote) et d'oxydes métalliques.

Applications

  • Nettoyage de wafers.
  • Traitements et nettoyages de surface.
  • Procédés d'oxydation.
  • Ozonisation d'eau ultra-pure.

Avantages

  • Production d'ozone de haute pureté.
  • L'automate programmable intégré, avec régulateur PID, le tout programmable par une interface homme-machine moderne et conviviale, permettent une mise en oeuvre simple et rapide.
  • Suivi du fonctionnement facilité.

Spécifications communes à tous les modèles

Modèles

Modèles
H-200
H-400
Dimensions (largeur x profondeur x hauteur)
850 x 600 x 1900 mm
1000 x 600 x 1900 mm
Masse
440 kg
600 kg
Production d'ozone
Production d'ozone

Conc. %

280 g/h
14%
45 g/h
19%
Production d'ozone

Conc. %

480 g/h
14%
45 g/h
21%
Réglage du débit de gaz Par régulateur de débit massique Par régulateur de débit massique
Mesure de la concentration d'ozone produite Par analyseur, en standard Par analyseur, en standard
Réglage de la concentration d'ozone produite Automatique Automatique
Débit de gaz max. 30 l/min 100 l/min
Pression de fonctionnement 1 bar 1 bar
Température ambiante admissible 10 à 25°C 10 à 25°C
Commande Automate programmable intégré Automate programmable intégré
Gaz d'alimentation Oxygène, >99.99%, 2 bar Oxygène, >99.99%, 2 bar
Eau de refroidissement 12 l/min à 10°C 18 l/min à 10°C
Alimentation électrique Monophasée 230 V, 50 Hz, 40 A Monophasée 230 V, 50 Hz, 60 A
Consommation électrique 5.1 kW 7.0 kW
Certifications

SEMI S2/S8

CE

SEMI S2/S8

CE

Production d'ozone en fonction du débit de gaz

Production d'ozone

Accessoires

 

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