Générateurs d'ozone - système UltraClean

  • Production d'eau ozonée à très haute concentration pour l'industrie des semi-conducteurs.

Générateur système Ultraclean

Description

Le système Ozonated Water Ultra Clean System (OWUCS) inclut un générateur d'ozone à très haute concentration et un système de dissolution d'ozone sous pression à haute efficacité. Le système OWUCS permet de produire 40 l/min d'eau ozonée contenant 32 ppm d'ozone dissous.

La concentration d'ozone dans l'eau qu'on peut atteindre avec le système OWUCS dépend du débit d'eau :

Concentration ozone

La concentration d'ozone maximum (jusqu'à 110 ppm) est atteinte à un débit d'eau de 5 l/min. L'application principale est le nettoyage de Wafers. Le système de dissolution d'ozone peut être adapté sur commande, pour fournir le débit et la concentration spécifique à vos besoins.

Applications

  • Nettoyage de wafers
  • Traitements et nettoyages de surface
  • Procédés d'oxydation
  • Ozonisation d'eau ultra-pure

Avantages

  • Production d'ozone de haute pureté.
  • L'automate programmable intégré, avec régulateur PID, le tout programmable par une interface homme-machine moderne et conviviale, permettant une mise en oeuvre simple et rapide.
  • Suivi du fonctionnement facilité.

Spécifications

Le système se compose d'un générateur d'ozone et du système OWUCS proprement dit.

  • Spécifications, générateur d'ozone H160
    • Génération d'ozone par effet corona
    • Technologie double quartz
    • Dimensions : 850 x 600 x 1900 mm
    • Masse : 440 kg
    • Gaz d'alimentation : oxygène > 99.9% - débit 6 à14 l/min - pression min. 2 bars
    • Connexion gaz : Swagelok 1/4''
    • Avec automate programmable intégré
    • Alimentation électrique : monophasée, 230 V 50 Hz
    • Consommation électrique : 3.8 kW
  • Spécifications, système OWUCS
    • Dimensions : 950 x 600 x 1900 mm
    • Masse : 330 kg
    • Débit d'eau : 0 à 40 l/min
    • Concentration d'ozone dissous : 30 à 100 ppm
    • Pression de l'eau ozonée : 1.0 à 1.8 bars
    • Alimentation électrique : monophasée, 230 V 50 Hz
    • Consommation électrique : 2.5 kW

Production d'ozone en fonction du débit de gaz

Production d'ozone

Accessoires

 

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